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第365章 备胎的转正 － 国产光刻胶第三方验证通过（第1页）

一款光刻胶，要想真正从“实验室的宠儿”蜕变为能够支撑整个国家

半导体产业自主崛起的工业脊梁，

它还必须经历一个更严酷、也更具说服力的考验——

那就是，在非启明芯体系的、真正意义上的第三方商业晶圆厂大规模生产线上，进行全面的、不打任何折扣的上线验证！

用实实在在的、可重复的、具有统计学意义的量产数据，来向全世界证明，我们的神农光刻胶，

不仅仅是能用，更是好用，甚至比进口的还要耐用！

这，才是“神农光刻胶SP-28”真正的“生死考验”！

也是它作为战略备胎，能否成功转正，并最终成长为华夏半导体产业链定海神针的——初始之战！

林轩为此，亲自选定了第一个试炼场和战略同盟军——

华夏大陆规模最大、工艺也相对最先进的芯片代工企业

——华芯国际集成电路制造有限公司（SMIC的平行世界加强版）。

华芯国际，作为华夏半导体产业的“国家队”成员之一，近年来虽然也在努力追赶国际先进水平，

但在核心的28纳米及以下逻辑芯片制造工艺上，同样长期受困于国外高端光刻胶的卡脖子之痛。

他们不仅要承受东瀛和M国供应商那高昂到离谱的采购价格，更常常面临“有钱也买不到货”或“只能买到技术降级版”的屈辱境地。

对于启明芯“神农光刻胶”的横空出世，华芯国际的最高管理层，在最初的震惊和难以置信之后，

便立刻敏锐地意识到，这，或许是他们摆脱困境、实现供应链自主的——天赐良机！

在林轩通过国家半导体全产业链自主化领导小组的渠道，

向华芯国际董事长兼CEO张汝发出“共同推进国产高端光刻胶产业化应用”的战略合作邀请后，双方几乎是一拍即合！

“林总！顾博士！”

在一次于京城举行的、由国家工信部和科技部领导共同见证的闭门签约仪式上，

张汝紧紧握住林轩和顾维钧的手，声音因为激动而微微颤抖，

“我代表华芯国际，感谢启明芯为我们华夏半导体产业做出的巨大贡献！

我们华芯国际，愿意成为‘神农光刻胶’的第一个‘商业用户’和最坚定的战略伙伴！

我们愿意拿出我们最先进的28纳米生产线，与启明芯和联合实验室的专家们一起，共同对‘神农光刻胶SP-28’进行最严苛、最全面的上线验证！

我相信，我们一定能够携手，创造出属于我们华夏自己的‘光刻奇迹’！”

一场由启明芯提供核心技术与光刻胶样品、华芯国际提供量产验证平台与工艺环境、

并由双方顶尖技术团队深度参与的、“神农光刻胶SP-28”小批量产线验证攻坚战，

在华芯国际位于沪上最先进的12英寸晶圆厂内，正式打响！

最初的几轮上线测试，过程并不像在启明芯内部研发线上那般顺利。

毕竟，华芯国际的生产设备型号、工艺参数设置、以及产线环境的控制标准，都与启明芯自有的研发线存在着细微的差异。

这些看似微不足道的差异，在光刻这种“失之毫厘谬以千里”的精密工艺中，

都可能导致最终成像结果的巨大偏差。

“神农光刻胶SP-28”在华芯国际的产线上，一度也出现了诸如与特定底层抗反射膜的附着力不佳、

显影后的图形侧壁陡峭度略有下降、以及在某些关键图形的套刻精度上出现微小漂移等“水土不服”的问题。

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