唯一可惜的就是干锅面积太小,晶液也少,提拉手柄全靠操作员的手感。
稍不注意,就可能会拉断。
而且采用的不是旋转拉法,而是最为原始的直接上提法。
所以晶圆柱直径一直无法取得突破,整体粗细不均。
晶圆的直径大小,直接影响着半导体生产的成本、产能和良品率。
越是靠近晶圆的边缘,良品率越差,这是大家的共识。
但他现在只是一个插班生,虽然技能里有相应的提升工艺。
但是他现在还没有资格提出改进意见。
他现在主要的工作就是疯狂的学习。
要从理论上让实验室的老师、同学认可,到那个时候,他的提议才有可能被采纳。
他每天埋头苦学,在实验室帮忙打下手。
时间来到了6月份。
此时,李元动手能力得到了实验室集体的认可。
目前他已经可以在黄燕的指导下,提拉单晶硅。
相比于实验室其他人,他提拉出的单晶硅最为均匀。
可见他手感和掌控力有多么的强。
现在,他就像是一个工具人,实验室其他人想到了改进的思路,他就帮着验证。
好在皇天不负有心人,终于在6月中旬,单晶硅的直径被他拉到了1.5英寸。
虽然进步好似不大,但是相对于从无到有的实验室,这就是一个非常大的跨越。
毕竟当前全世界的晶圆直径普遍是这个水平,最厉害也就2英寸。
这一天,大家在讨论新工艺的时候,李元突然冒出一句话。
“黄老师,我一直有种感觉,如果提拉的时候产生一种旋转的力。
结合硅液表面张力,是否可以加大晶圆的直径?”
一言惊醒梦中人,大家齐齐看向李元,然后都看向黄燕。
“我觉得可以一试”。
“同意”。
“同意”。
。。。。。。
一个半个小时后,大家全都带着激动的心情看着那条单晶柱。
“至少有2.5英寸”,黄燕喃喃自语。
“应该不止”。
。。。。。。
又过去了10分钟,当坩埚里的最后一滴晶液被旋转带起,代表着提拉结束。
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当完成冷却,李元小心翼翼地把单晶柱从夹具上取下了。
黄燕兴奋地开始测量。
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